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納米粒度儀的電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）ICP-MS是使用電感耦合等離子體作為離子源的元素質(zhì)譜法;離子源產(chǎn)生的樣品離子質(zhì)量通過質(zhì)譜分析儀和檢測器后的質(zhì)譜分析;檢測限低（多數(shù)元素檢測限為ppb-ppt）;線性范圍很寬（最多7個數(shù)量級）;分析速度快（1分鐘內(nèi)70個元素的結(jié)果））;光譜干擾小（原子量差可以用1分開），并且可以進行同位素分析。

飛行時間二次離子質(zhì)譜納米粒度儀（TOF-SIMS）是用單個離子刺激樣品表面以產(chǎn)生非常少量的二次離子，這是由于不同質(zhì)量引起的二次質(zhì)量。極高分辨率的測量技術(shù)，通過改變探測器的時間來確定離子的質(zhì)量。使用聚焦的初級離子束對樣品進行穩(wěn)定的轟擊，初級離子可以被樣品表面反向散射（概率很?。蛘咚梢源┩腹腆w樣品表面上的某些原子層到達滲透中的一定深度在此過程中會發(fā)生一系列彈性和非彈性碰撞。初級離子將其部分能量轉(zhuǎn)移到晶格原子。這些原子中的一些朝向表面移動并將能量轉(zhuǎn)移到表面離子以發(fā)射它。該過程變?yōu)榱Ｗ訛R射。當樣品被離子束轟擊時，可能會發(fā)生額外的物理和化學過程：一個離子進入晶格，導致晶格畸變;在被吸附層覆蓋的表面上引起化學反應(yīng)等。納米粒度儀濺射粒子主要是中性原子和分子，一小部分是具有正電荷和負電荷的原子，分子和分子碎片.